Substrate processing unit and method for processing substrate

WO2013065451 Art A1 10. Mai 2013

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013065451
Aktenzeichen: EP12846409
Anmeldetag: 5. Oktober 2012
Veröffentlichung: 10. Mai 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/22B65H20/10B65H23/025G03F7/20G03F7/213G03F7/24H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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