Gas nozzle, plasma device using same, and method for manufacturing gas nozzle

WO2013065666 Art A1 10. Mai 2013

Anmelder: Kyocera Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013065666
Aktenzeichen: EP12846176
Anmeldetag: 30. Oktober 2012
Veröffentlichung: 10. Mai 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205C04B35/443C04B35/50C23C16/455H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kyocera Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kyocera

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Kyoto. Kyocera fertigt Keramikbauteile, Halbleiterkomponenten, Solarmodule, Druck- und Kopiersysteme sowie Elektronikprodukte für Industrie und Endverbraucher.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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