Tris (dialkylamide) aluminum compound, and method for producing aluminum-containing thin film using same

WO2013065806 Art A1 10. Mai 2013

Anmelder: UBE Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013065806
Aktenzeichen
EP12846782
Anmeldetag
1. November 2012
Veröffentlichung
10. Mai 2013
Rechtsraum
WO
IPC
C07F5/06C23C16/20C23C16/34C23C16/40
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
UBE Industries, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ube Industries

Ube Industries war ein japanischer Mischkonzern mit Sitz in Ube, tätig in den Bereichen Chemie, Zement und Maschinenbau. Das Unternehmen firmiert seit 2022 als UBE Corporation.

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