Profile measuring apparatus, structure manufacturing system, method for measuring profile, method for manufacturing structure, program, and non-transitory computer readable medium

WO2013065862 Art A1 10. Mai 2013

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013065862
Aktenzeichen: EP12790688
Anmeldetag: 30. Oktober 2012
Veröffentlichung: 10. Mai 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/25G01B21/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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