Phenol monomer, polymer for forming a resist underlayer film including same, and composition for a resist underlayer film including same

WO2013066067 Art A1 10. Mai 2013

Anmelder: Dongjin Semichem Co., Ltd. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013066067
Aktenzeichen
EP12844885
Anmeldetag
1. November 2012
Veröffentlichung
10. Mai 2013
Rechtsraum
WO
IPC
C07D311/86C07D495/10C08G61/12G03F7/004
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Dongjin Semichem Co., Ltd.
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Dongjin Semichem

Der Anmelder ist ein südkoreanischer Hersteller von Chemikalien für die Halbleiter- und Displayindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Klebstoffe, Optik und Kunststofftechnik, insbesondere Fotoresists und Materialien für Dünnschichtprozesse. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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