Bi-directional association and graphical acquisition of time-based equipment sensor data and material-based metrology statistical process control data

WO2013067053 Art A1 10. Mai 2013

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013067053
Aktenzeichen: EP12846481
Anmeldetag: 31. Oktober 2012
Veröffentlichung: 10. Mai 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G06F11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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