Secondary target design for optical measurements

WO2013067229 Art A2 10. Mai 2013

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013067229
Aktenzeichen: EP12844689
Anmeldetag: 1. November 2012
Veröffentlichung: 10. Mai 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/47H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kla-Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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