Workpiece handling system and methods of workpiece handling

WO2013067307 Art A1 10. Mai 2013

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc., Vopat, Robert, Brent, Carlson, Charles, T., Webb, Aaron, P., Weaver, William, T. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013067307
Aktenzeichen: EP12795918
Anmeldetag: 2. November 2012
Veröffentlichung: 10. Mai 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Vopat, Robert, Brent
Carlson, Charles, T.
Webb, Aaron, P.
Weaver, William, T.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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