Wafer surface-treatment method and surface-treatment liquid, and surface-treatment agent, surface-treatment liquid, and surface-treatment method for silicon-nitride-containing wafers

WO2013069499 Art A1 16. Mai 2013

Anmelder: Central Glass Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013069499
Aktenzeichen: EP12847138
Anmeldetag: 30. Oktober 2012
Veröffentlichung: 16. Mai 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027C09K3/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Central Glass Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Central Glass

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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