Method for producing functional device and apparatus for producing functional device

WO2013069686 Art A1 16. Mai 2013

Anmelder: Japan Science and Technology Agency 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013069686
Aktenzeichen: EP12848062
Anmeldetag: 7. November 2012
Veröffentlichung: 16. Mai 2013
Rechtsraum: WO
IPC: C04B35/622B28B11/10H01L21/336H01L21/822H01L21/8246H01L27/04H01L27/105H01L29/786H01L29/788H01L29/792H01L41/22

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Abstract

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Anmelder

Firma: Japan Science and Technology Agency
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Japan Science and Technology Agency

Japanische staatliche Förderorganisation für Wissenschaft und Technologie, die Forschungsprojekte finanziert und den Technologietransfer zwischen Universitäten und Industrie unterstützt. Die Behörde untersteht dem japanischen Bildungsministerium.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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