Sample positioning apparatus, sample stage, and charged particle beam apparatus

WO2013069722 Art A1 16. Mai 2013

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013069722
Aktenzeichen: EP12847253
Anmeldetag: 8. November 2012
Veröffentlichung: 16. Mai 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/20H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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