Polysiloxazane hydroxide thin-film rinse solution, and polysiloxazane hydroxide thin-film pattern-forming method using same

WO2013069921 Art A1 16. Mai 2013

Anmelder: Cheil Industries Inc. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013069921
Aktenzeichen
EP12846865
Anmeldetag
31. Oktober 2012
Veröffentlichung
16. Mai 2013
Rechtsraum
WO
IPC
C11D7/50C11D7/00H01L21/306
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Cheil Industries Inc.
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Cheil Industries Inc.

Ehemaliges südkoreanisches Chemie- und Materialunternehmen der Samsung-Gruppe, 2015 in Samsung C&T Corporation aufgegangen und heute nicht mehr eigenständig tätig.

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