Pressure control valve assembly of plasma processing chamber and rapid alternating process

WO2013070416 Art A1 16. Mai 2013

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013070416
Aktenzeichen: EP12847285
Anmeldetag: 19. Oktober 2012
Veröffentlichung: 16. Mai 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/02F16K3/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik

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