System and method for controlling a temperature of a reaction assembly

WO2013070568 Art A2 16. Mai 2013

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013070568
Aktenzeichen: EP12847908
Anmeldetag: 6. November 2012
Veröffentlichung: 16. Mai 2013
Rechtsraum: WO
IPC: B01J8/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

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