Temperature control system, semiconductor manufacturing device, and temperature control method

WO2013073537 Art A1 23. Mai 2013

Anmelder: Tokyo Electron Limited, CKD Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013073537
Aktenzeichen: EP12849325
Anmeldetag: 13. November 2012
Veröffentlichung: 23. Mai 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G05D23/19G05D23/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
CKD Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 CKD

CKD ist ein japanischer Hersteller von Automatisierungs-, Pneumatik- und Verpackungstechnik mit Sitz in Komaki. Das Patentportfolio betrifft Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, insbesondere Ventile und Fördersysteme. Die Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2025.

262 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Steuerungs- & Regelungstechnik

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