Process to remove ni and pt residues for niptsi applications

WO2013074278 Art A1 23. Mai 2013

Anmelder: Intermolecular, Inc., Globalfoundries Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013074278
Aktenzeichen: EP12849477
Anmeldetag: 29. Oktober 2012
Veröffentlichung: 23. Mai 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/336H01L21/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Intermolecular, Inc.
Globalfoundries Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇰🇾 GlobalFoundries

GlobalFoundries ist ein Halbleiterhersteller, der als Auftragsfertiger (Foundry) Chips für zahlreiche Kunden produziert; die Gesellschaft ist auf den Cayman Islands registriert. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Software. Die Anmeldungen von 2000 bis 2018 betreffen unter anderem Kontaktstrukturen und Fertigungsverfahren für Halbleiterbauelemente.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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