Distributed, non-concentric multi-zone plasma source systems, methods and apparatus

WO2013074824 Art A1 23. Mai 2013

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013074824
Aktenzeichen: EP12850053
Anmeldetag: 15. November 2012
Veröffentlichung: 23. Mai 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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