Production processing system, control device for production processing, method for controlling production processing and control program for production processing

WO2013077188 Art A1 30. Mai 2013

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013077188
Aktenzeichen: EP12852004
Anmeldetag: 8. November 2012
Veröffentlichung: 30. Mai 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02G05B19/418

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik

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