Charged-particle radiation apparatus

WO2013077217 Art A1 30. Mai 2013

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation, Toto Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013077217
Aktenzeichen: EP12852084
Anmeldetag: 12. November 2012
Veröffentlichung: 30. Mai 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/252H01J37/244H01J37/28H01J37/29

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Hitachi High-Technologies Corporation
Toto Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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