Etch rate detection for reflective multi-material layers etching

WO2013077988 Art A1 30. Mai 2013

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013077988
Aktenzeichen: EP12852077
Anmeldetag: 2. November 2012
Veröffentlichung: 30. Mai 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66H01L21/3065H01L21/311

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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