Multi-chambered acoustic sensor for determining gas composition

WO2013078308 Art A1 30. Mai 2013

Anmelder: Inficon, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013078308
Aktenzeichen
EP12851428
Anmeldetag
21. November 2012
Veröffentlichung
30. Mai 2013
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/00C23C16/44
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Inficon, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇩🇪 Inficon

Inficon ist ein Hersteller von Mess- und Analysegeräten für Vakuum- und Gasanwendungen mit Wurzeln in der Schweiz. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Metallurgietechnik. Die Titel betreffen unter anderem Bildverarbeitung für die Prozessendpunkterkennung und Sprühvorrichtungen für Prüfgas.

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