Substrate processing device and robot controller

WO2013080280 Art A1 6. Juni 2013

Anmelder: Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013080280
Aktenzeichen: EP11876672
Anmeldetag: 28. November 2011
Veröffentlichung: 6. Juni 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677B25J19/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Yaskawa Electric

Yaskawa Electric Corporation ist ein japanischer Hersteller von Industrierobotern, Servomotoren und Antriebstechnik mit Sitz in Kitakyushu.

1.544 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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