Structured illumination device, adjustment method for said structured illumination device, computer executable adjustment program, structured illumination microscope device, and surface shape measuring device

WO2013080542 Art A1 6. Juni 2013

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013080542
Aktenzeichen: EP12853709
Anmeldetag: 28. November 2012
Veröffentlichung: 6. Juni 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G02B21/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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