Ätzverfahren für Metall-Mischoxide

WO2013083105 Art A1 13. Juni 2013

Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013083105
Aktenzeichen: EP12809571
Anmeldetag: 23. November 2012
Veröffentlichung: 13. Juni 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/311H01L21/3213

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Forschungszentrum Jülich GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Forschungszentrum Jülich

Deutsche Großforschungseinrichtung der Helmholtz-Gemeinschaft mit Sitz in Jülich, gegründet 1956. Forschungsschwerpunkte sind Energie, Information und Gehirnforschung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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