Method, apparatus and composition for wet etching

WO2013084083 Art A2 13. Juni 2013

Anmelder: Lam Research AG 🇦🇹

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013084083
Aktenzeichen: EP12856277
Anmeldetag: 11. Oktober 2012
Veröffentlichung: 13. Juni 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/306C09K13/08C23F1/08

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Lam Research AG
Land: 🇦🇹 Österreich

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von