Method for evaluating silicon single crystal and method for producing silicon single crystal

WO2013084410 Art A1 13. Juni 2013

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013084410
Aktenzeichen
EP12856109
Anmeldetag
12. November 2012
Veröffentlichung
13. Juni 2013
Rechtsraum
WO
IPC
C30B29/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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