Neutralizing jig, substrate treatment device using same, and method for neutralizing substrate treatment device

WO2013084646 Art A1 13. Juni 2013

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013084646
Aktenzeichen: EP12856387
Anmeldetag: 7. November 2012
Veröffentlichung: 13. Juni 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H05F3/04H01L21/02H01L21/677H01T23/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von