Charged particle beam scanning using deformed high gradient insulator

WO2013085929 Art A1 13. Juni 2013

Anmelder: Lawrence Livermore National Security, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013085929
Aktenzeichen: EP12854635
Anmeldetag: 4. Dezember 2012
Veröffentlichung: 13. Juni 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/147H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Lawrence Livermore National Security, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lawrence Livermore National Security

Lawrence Livermore National Security ist die Betreibergesellschaft des Lawrence Livermore National Laboratory, eines US-Forschungslabors für nationale Sicherheit und Energie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Fertigungstechnik, ergänzt durch Optik und Messtechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2002 bis 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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