Device manufacturing method and associated lithographic apparatus, inspection apparatus, and lithographic processing cell

WO2013087431 Art A2 20. Juni 2013

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013087431
Aktenzeichen: EP12798690
Anmeldetag: 30. November 2012
Veröffentlichung: 20. Juni 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G03F9/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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