Verfahren zur Qualitätsermittlung eines Siliciumwafers

WO2013087839 Art A1 20. Juni 2013

Anmelder: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Seidl, Albrecht, Birkmann, Bernhard, Lemke, Christian, Hendricks, Andreas, Siegmund, Sebastian 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013087839
Aktenzeichen: EP12812201
Anmeldetag: 14. Dezember 2012
Veröffentlichung: 20. Juni 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66H01L31/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Seidl, Albrecht
Birkmann, Bernhard
Lemke, Christian
Hendricks, Andreas
Siegmund, Sebastian
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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