Acoustic wave generating device and method for producing acoustic wave generating device

WO2013089180 Art A1 20. Juni 2013

Anmelder: The Doshisha, Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013089180
Aktenzeichen: EP12858521
Anmeldetag: 13. Dezember 2012
Veröffentlichung: 20. Juni 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H04R23/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: The Doshisha
Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Nachrichtentechnik & Telekommunikation

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