Thermal plate for environment and temperature control of motors used to move stages in lithography tools

WO2013090123 Art A1 20. Juni 2013

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013090123
Aktenzeichen: EP12857924
Anmeldetag: 6. Dezember 2012
Veröffentlichung: 20. Juni 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H02K9/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik

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