Spray rejuvenation of sputtering targets

WO2013090516 Art A1 20. Juni 2013

Anmelder: H. C. Starck Inc 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013090516
Aktenzeichen
EP12815884
Anmeldetag
13. Dezember 2012
Veröffentlichung
20. Juni 2013
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/34C23C24/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
H. C. Starck Inc
Land
🇺🇸 USA
🇩🇪 H.C. Starck

H.C. Starck ist ein deutsches Unternehmen für Spezialmetalle und Werkstoffe wie Tantal und Wolfram mit Sitz in Goslar. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiterwerkstoffe, ergänzt durch Fertigungs- und Chemietechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2019.

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