Enhanced high-speed logarithmic photo-detector for spot scanning system
WO2013090815
Art A1
20. Juni 2013
Anmelder: Kla-tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2013090815
- Aktenzeichen
- EP12857050
- Anmeldetag
- 14. Dezember 2012
- Veröffentlichung
- 20. Juni 2013
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/956G01B11/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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