Verfahren zum Schutz der Oberfläche eines Optischen Bauteils sowie Vorrichtung zur Bearbeitung von Werkstücken

WO2013092981 Art A2 27. Juni 2013

Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013092981
Aktenzeichen: EP12816473
Anmeldetag: 21. Dezember 2012
Veröffentlichung: 27. Juni 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/30H01J37/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Forschungszentrum Jülich GmbH
Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Forschungszentrum Jülich

Deutsche Großforschungseinrichtung der Helmholtz-Gemeinschaft mit Sitz in Jülich, gegründet 1956. Forschungsschwerpunkte sind Energie, Information und Gehirnforschung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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