Laser apparatus

WO2013093577 Art A1 27. Juni 2013

Anmelder: Gigaphoton Inc., Nowak, Krzysztof, Wakabayashi, Osamu 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013093577
Aktenzeichen: EP12781424
Anmeldetag: 19. September 2012
Veröffentlichung: 27. Juni 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/23H01S3/10G02B27/28G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Gigaphoton Inc.
Nowak, Krzysztof
Wakabayashi, Osamu
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von