Method for producing cyclic siloxane compound, insulating film using cyclic siloxane compound, and disiloxane compound

WO2013094421 Art A1 27. Juni 2013

Anmelder: Tosoh Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013094421
Aktenzeichen: EP12860613
Anmeldetag: 6. Dezember 2012
Veröffentlichung: 27. Juni 2013
Rechtsraum: WO
IPC: C07F7/21C07F7/18C23C16/42H01L21/312C07B61/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tosoh Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tosoh Corporation

Japanisches Chemieunternehmen, das Petrochemikalien, Spezialchemikalien und Zement herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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