Filter for material supply apparatus

WO2013095858 Art A1 27. Juni 2013

Anmelder: Cymer, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013095858
Aktenzeichen: EP12858911
Anmeldetag: 20. November 2012
Veröffentlichung: 27. Juni 2013
Rechtsraum: WO
IPC: B01D39/14

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Cymer, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

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