Graphene-Based Metal Diffusion Barrier
WO2013096273
Art A1
27. Juni 2013
Anmelder: University of Florida Research Foundation, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2013096273
- Aktenzeichen
- EP12860543
- Anmeldetag
- 18. Dezember 2012
- Veröffentlichung
- 27. Juni 2013
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L23/48H01L21/60
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- University of Florida Research Foundation, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
University of Florida Research Foundation
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