Load lock device and vacuum treatment chamber equipped with same

WO2013099178 Art A1 4. Juli 2013

Anmelder: Sharp Kabushiki Kaisha, ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013099178
Aktenzeichen: EP12862251
Anmeldetag: 20. Dezember 2012
Veröffentlichung: 4. Juli 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677C23C14/00C23C14/56C23C16/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Sharp Kabushiki Kaisha
ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sharp

Japanischer Elektronikkonzern mit Sitz in Sakai bei Osaka, seit 2016 mehrheitlich zu Foxconn gehörend. Aktiv in Displaytechnik (LCD, OLED), Unterhaltungselektronik, Haushaltsgeräten sowie Halbleiter- und Solartechnologie.

22.803 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von