Plasma processing device
Anmelder: Nissin Electric Co., Ltd., The Japan Steel Works, Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2013099366
- Aktenzeichen
- EP12861089
- Anmeldetag
- 12. September 2012
- Veröffentlichung
- 4. Juli 2013
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H05H1/46C23C16/505H01L21/205H01L21/3065H01L21/31
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Nissin Electric Co., Ltd.
The Japan Steel Works, Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
Nissin Electric ist ein japanischer Hersteller elektrischer Anlagen und Halbleiterfertigungsausrüstung mit Sitz in Kyoto. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleitertechnik und Metallurgie, ergänzt durch Schaltungs- und Energietechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2025.
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The Japan Steel Works ist ein japanischer Maschinenbaukonzern, unter anderem für Spritzgießmaschinen und Stahlkomponenten. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Kunststoff- und Polymertechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt um Fertigungstechnik. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2025.
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