Radiation-sensitive resin composition, polymer, compound, and method for producing compound

WO2013099998 Art A1 4. Juli 2013

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013099998
Aktenzeichen: EP12863050
Anmeldetag: 26. Dezember 2012
Veröffentlichung: 4. Juli 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/039C07C67/14C07C69/54C07D307/93C07D333/78C08F20/10H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik Organische Chemie

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