Cmp slurry composition and polishing method using same

WO2013100447 Art A1 4. Juli 2013

Anmelder: Cheil Industries Inc. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013100447
Aktenzeichen
EP12862570
Anmeldetag
13. Dezember 2012
Veröffentlichung
4. Juli 2013
Rechtsraum
WO
IPC
C09K3/14H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Cheil Industries Inc.
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Cheil Industries Inc.

Ehemaliges südkoreanisches Chemie- und Materialunternehmen der Samsung-Gruppe, 2015 in Samsung C&T Corporation aufgegangen und heute nicht mehr eigenständig tätig.

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