Online test structure for residual stress of polycrystalline silicon material

WO2013102352 Art A1 11. Juli 2013

Anmelder: Southeast University 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013102352
Aktenzeichen
EP12864282
Anmeldetag
25. Juli 2012
Veröffentlichung
11. Juli 2013
Rechtsraum
WO
IPC
G01N27/04G01B7/16G01B21/32G01L1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Southeast University
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Southeast University

Chinesische Universität mit Sitz in Nanjing, Schwerpunkt auf Ingenieur- und Technikwissenschaften.

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