Device for controlling laser beam and apparatus for generating extreme ultraviolet light

WO2013104947 Art A1 18. Juli 2013

Anmelder: Gigaphoton Inc., Moriya, Masato, Wakabayashi, Osamu 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013104947
Aktenzeichen: EP12821304
Anmeldetag: 21. Dezember 2012
Veröffentlichung: 18. Juli 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Gigaphoton Inc.
Moriya, Masato
Wakabayashi, Osamu
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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