Stamper, imprinting device and processed product, as well as processed product manufacturing device and processed product manufacturing method
WO2013105327
Art A1
18. Juli 2013
Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2013105327
- Aktenzeichen
- EP12865484
- Anmeldetag
- 31. Oktober 2012
- Veröffentlichung
- 18. Juli 2013
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G11B5/84B29C33/42B29C59/02H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Hitachi High-Technologies Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi High-Tech Corporation
Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.
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