Stamper, imprinting device and processed product, as well as processed product manufacturing device and processed product manufacturing method

WO2013105327 Art A1 18. Juli 2013

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013105327
Aktenzeichen
EP12865484
Anmeldetag
31. Oktober 2012
Veröffentlichung
18. Juli 2013
Rechtsraum
WO
IPC
G11B5/84B29C33/42B29C59/02H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi High-Technologies Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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