Chamber apparatus and heat insulating panel

WO2013105635 Art A1 18. Juli 2013

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013105635
Aktenzeichen: EP13736006
Anmeldetag: 11. Januar 2013
Veröffentlichung: 18. Juli 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02F25D23/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik

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