Fept sputtering target and method for producing same

WO2013105647 Art A1 18. Juli 2013

Anmelder: Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013105647
Aktenzeichen
EP13736098
Anmeldetag
11. Januar 2013
Veröffentlichung
18. Juli 2013
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/34B22F9/08C22C1/05C22C5/04C22C32/00G11B5/851
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tanaka Kikinzoku Kogyo

Tanaka Kikinzoku Kogyo ist ein japanisches Unternehmen für Edelmetallverarbeitung mit Sitz in Tokio. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt um Fertigungs- und Verfahrenstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2023 ab.

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