Beam Line Design To Reduce Energy Contamination

WO2013106220 Art A1 18. Juli 2013

Anmelder: Axcelis Technologies Inc., Eisner, Edward, Vanderberg, Bo 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013106220
Aktenzeichen: EP13703911
Anmeldetag: 14. Januar 2013
Veröffentlichung: 18. Juli 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/317H01J37/05H01J37/16

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Axcelis Technologies Inc.
Eisner, Edward
Vanderberg, Bo
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Axcelis Technologies

Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.

377 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von