Probenpositioniereinrichtung und Verfahren zu Ihrem Betrieb

WO2013107698 Art A1 25. Juli 2013

Anmelder: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung E.V., Bundesrepublik Deutschland, vertreten durch das Bundesministerium für Wirtschaft und Technologie, dieses vertreten durch den P 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013107698
Aktenzeichen: EP13700999
Anmeldetag: 11. Januar 2013
Veröffentlichung: 25. Juli 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G01N23/20G03F9/00H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung E.V.
Bundesrepublik Deutschland, vertreten durch das Bundesministerium für Wirtschaft und Technologie, dieses vertreten durch den P
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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